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三氟化磷(PF3)

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產品詳情

 

 

三氟化磷(PF3)



化學式

PF3

中文名稱

三氟化磷

英文名稱

Phosphorus  Trifluoride

CAS No.

7783-55-3

分子量

87.969

充裝量


應用

發(fā)生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態(tài)磷離子注入源。

三氟化磷是一種無機化合物,其化學式為PF3,在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體,液態(tài)時為無色透明液體,空氣中不太發(fā)煙,相當穩(wěn)定,加熱時與氫反應生成PH3,能與水反應生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解??扇苡谝掖?。除在高溫外,不腐蝕玻璃。


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