三氟化磷(PF3) |
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化學式 | PF3 |
中文名稱 | 三氟化磷 |
英文名稱 | Phosphorus Trifluoride |
CAS No. | 7783-55-3 |
分子量 | 87.969 |
充裝量 |
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應用 | 發(fā)生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態(tài)磷離子注入源。 |
三氟化磷是一種無機化合物,其化學式為PF3,在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體,液態(tài)時為無色透明液體,空氣中不太發(fā)煙,相當穩(wěn)定,加熱時與氫反應生成PH3,能與水反應生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解??扇苡谝掖?。除在高溫外,不腐蝕玻璃。